제우스의 주력 사업은 반도체와 디스플레이 장비다. 이 가운데 대표적인 것은 반도체 세정 장비인 아폴론이다. 아폴론의 프로세스 체임버에 로봇이 반도체 웨이퍼를 투입하면 체임버 내에서는 웨이퍼 표면 처리를 위해 `약품 처리→세정→건조 처리` 순으로 자동 진행한다. 이 과정에서 여러 종류 화학약품을 사용해 웨이퍼 표면의 불필요한 막질이나 `파티클`이라고 불리는 미세먼지를 제거한다. 시간당 웨이퍼 500매를 세정할 수 있는 12체임버형 `이온`도 개발해 생산 중이며 이는 아폴론보다 1.6배가량 시간당 세정 능력이 우수하다. 최근에 개발된 BW3700 장비는 세계 최초로 기존 웨이퍼 간격을 5㎜에서 7㎜ 구조로 개발해 반도체 제품 수율 향상에 크게 기여하고 있다.

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