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Home   >   ZERO 시리즈 6 AXIS ROBOT 6 AXIS ROBOT SCARA ROBOT SCARA ROBOT DELTA ROBOT DELTA ROBOT LINEAR ROBOT LINEAR ROBOT 6AXIS ROBOT SCARA ROBOT DELTA ROBOT LINEAR ROBOT ZEUS ROBOT 주변 장치 컨트롤러 컨트롤 보드와 전원 제어부를 포함하고 있습니다. 인터페이스를 통해 로봇을 조작합니다. 더 알아보기 펜던트 PC 없이 단독으로 로봇을 조작할 […]

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Precise, Modular, Configurable. 제우스 로봇 시리즈 제우스 로봇은 높은 수준의 신뢰성을 바탕으로 한 자동화 로봇입니다. 가장 이상적인 생산 공정 시스템을 위해 제우스 로봇을 만나보세요 로봇 라인업 둘러보기 News and Posts Play Smart Farm Automation Play Mobile Manipulator Play College Student Contest Play Fenceless System Play Bin Picking Play Valve assembly Play Bartender custom robot Play […]

“작고 강한 ‘제로’ 산업용 로봇 강자될 것”

“로봇사업에 진출하기 위해 10년 전부터 차곡차곡 준비해왔습니다. 지난해 다관절로봇 ‘제로’ 시리즈를 선보였고, 후속 로봇도 속속 출시 준비중입니다.” 이종우 제우스 대표(사진)의 말이다. 제우스는 로봇업계에선 낯설지만 반도체 장비 업계에선 유명하다. 고부가 장비를 만들다 보니 작업환경에서 크고 작은 자동화 시스템이 필수적이었다. 정밀한 작업은 작업자만으로는 불가능하다. 로봇에 대한 니즈를 누구보다 잘 알고 있다. 올해 창사 50주년을 맞은 제우스는 그동안 […]

반도체 장비업체 제우스, “반도체 최신 세정장비 개발…수율 향상 기여”

제우스의 주력 사업은 반도체와 디스플레이 장비다. 이 가운데 대표적인 것은 반도체 세정 장비인 아폴론이다. 아폴론의 프로세스 체임버에 로봇이 반도체 웨이퍼를 투입하면 체임버 내에서는 웨이퍼 표면 처리를 위해 `약품 처리→세정→건조 처리` 순으로 자동 진행한다. 이 과정에서 여러 종류 화학약품을 사용해 웨이퍼 표면의 불필요한 막질이나 `파티클`이라고 불리는 미세먼지를 제거한다. 시간당 웨이퍼 500매를 세정할 수 있는 12체임버형 `이온`도 […]